Sensor tekanan adalah sensor yang paling umum digunakan dalam praktik industri. Sensor tekanan tradisional terutama didasarkan pada perangkat jenis struktur mekanis, dan tekanan ditunjukkan oleh deformasi elemen elastis. Namun, struktur ini berukuran besar dan beratnya berat, dan tidak dapat memberikan output listrik, sehingga paling umum digunakan di bidang industri.
Dengan pengembangan teknologi semikonduktor, sensor tekanan semikonduktor telah muncul sesuai waktu yang dibutuhkan, yang ditandai dengan ukuran kecil, bobot ringan, akurasi tinggi dan karakteristik suhu yang baik. Terutama dengan pengembangan teknologi MEMS, sensor semikonduktor berkembang menuju miniaturisasi, dan konsumsi daya mereka rendah dan reliabilitas tinggi.
Ada banyak jenis sensor tekanan, yang dapat dibagi menjadi berbagai jenis sesuai dengan standar klasifikasi yang berbeda. Berikut adalah dua sensor tekanan yang paling umum:
1. Sensor tekanan silikon difusi
Prinsip kerja sensor tekanan silikon yang tersebar didasarkan pada efek piezoresistif. Dengan menggunakan prinsip efek piezoresistif, tekanan dari media yang diukur secara langsung bekerja pada diafragma (stainless steel atau keramik) dari sensor, sehingga diafragma menghasilkan mikro-displacement yang sebanding dengan tekanan menengah. Nilai resistansi sensor diubah, sirkuit elektronik digunakan untuk mendeteksi perubahan, dan sinyal pengukuran standar yang sesuai dengan tekanan dikonversi dan output.
Sensor tekanan silikon difusi berukuran kecil, ringan dalam berat dan stabil dalam kinerja, cocok untuk membuat pemancar jangkauan kecil, terutama digunakan dalam sistem kontrol proses, instrumen kalibrasi tekanan, sistem hidrolik, instrumen biomedis, sistem hidrolik dan katup, pengukuran tingkat cairan, peralatan pendingin dan industri kontrol HVAC.
2. Sensor Tekanan Kapasitif
Sensor tekanan kapasitif adalah sensor tekanan yang menggunakan elemen sensitif kapasitif untuk mengubah tekanan yang diukur menjadi output listrik yang memiliki hubungan tertentu dengan itu. Umumnya menggunakan film logam melingkar atau film berlapis logam sebagai elektroda kapasitor. Ketika film dideformasi oleh tekanan, kapasitansi yang terbentuk antara film dan perubahan elektroda tetap, dan tegangan output memiliki hubungan tertentu dengan tegangan melalui sirkuit pengukuran. sinyal listrik.
Sensor tekanan kapasitif memiliki karakteristik energi input rendah, respons dinamis tinggi, efek alami yang kecil, dan kemampuan beradaptasi lingkungan yang baik. Di antara mereka, sensor tekanan kapasitif keramik dapat banyak digunakan dalam deteksi tekanan air, gas dan cairan karena keunggulan resistansi korosi, ketahanan dampak, tidak ada histeresis, dan kompatibilitas medium yang kuat.
Tekanan adalah salah satu parameter penting dalam produksi dan kehidupan. Sensor tekanan juga banyak digunakan di berbagai lingkungan otomatisasi industri, yang melibatkan pemeliharaan air dan tenaga air, transportasi kereta api, bangunan cerdas, otomatisasi produksi, petrokimia, sumur oli, listrik, kapal, peralatan mesin, pipa dan banyak industri lainnya. .
Waktu posting: AUG-21-2022